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第36章（第1页）

“我想问问，过了这么久，你们的研究进行的怎么样了？”沈丹青一副公事公办的语气说道。

“老板，我们早就试制出来了，只不过看到你没有摧促，我们还在进行不断的改进。”电话那头的王波诚惶诚恐的答道。

“你们做了实验吗？”沈丹青依然有点不放心，因此再问了一句。

“你放心，老板，我们利用非金属研究所的废品硅晶圆，做了大量的实验。只不过为了提高精度，为了达到万无一失，还在不断实验改进。现在已经完全够用了。”电话那头的王波马上向他做出了保证。

非金属研究所的废品硅晶圆，有一些只是纯度没达标、有一些只是尺寸没达标。作为实验品，是完全没有问题的，因此他们的实验数据也是有效的。

现在只差最后一项了，那就是金属研究所的单晶铜丝。为此沈丹青亲自打电话给了彭博。

电话一接通，沈丹青没得彭博说话就抢先问他道：“彭所长，你们的单晶铜项目研发得怎么样了？”

“老板，实在对不起，我们才刚刚有点眉目。”电话那头的彭博听到老板问他单晶铜的事，吓了一身冷汗，真是怕什么就来什么，他赶紧蒋老板坦白。

“那你们还要多久，其他研究所的科研课题都完成了，只有你们还磨磨蹭蹭。”沈丹青听了他的话就有点不高兴了，因此重重地说了他几句。

彭博毕竟还是有点能力，他从老板的话里听出来老板有点不高兴，但还有挽救的希望。他连忙回答说：“还需要两三个月的时间。”

“那我就再给你三个月时间，到时候再完成不了我就撤换你，你好自为之。”沈丹青说完，他就重重地挂上了电话。

其实沈丹青只是给他压力，他也知道他们的难处，这不是普通的科学研发，而是前沿科技。而他只给了他们模糊的提示，难度肯定不少。但话又说回来，如果三个月真的能研发出来，那么一点也不会影响芯片制造的研发进度。

他已经决定开始芯片制造设备的研发了，他知道这个时间会非常长，而且既算制造出了芯片，也仅仅只是开始，芯片制造行业不仅仅是会不会造的问题，最关键的是解决良品率问题。这是所有芯片制造企业最大的难题。如果别人一片硅晶圆，能制造出两千枚合格的芯片，而你只能制造不到一百枚。不用想你也会亏死，芯片制造行业投入又如此之大，如果不赚钱，任何企业都撑不了多久。

其实单晶铜并不影响前期的设备研制，也就是说，他已经可以开始研制设备了。

沈丹青能领导几万人的企业，大局观是没的说的，因此他就让李想通知，非金属研究所、长胜精工、软讯、化学研究所等公司和研究所负责人开会，时间定在第二天。

第二天上午，沈丹青上班没多久，刘秘书就进来汇报：“老板大家都到齐了，我安排他们在小会议室。”

“嗯！我知道了，我们现在就过去吧！”沈丹青他也早有点迫不及待了。

这次参与会议的人员不多，全部是各单位的负责人。他们看到老板和刘秘书进来了，就全部站起来打招呼：“老板”

“嗯！大家别客气，都坐下来。”沈丹青边点头边用双手下压示意让大家坐。随后自己率先做到了他的专属席位。

等大家多坐好后，他就直奔主题：“今天叫大家来，就是要开启我们公司最重要的一项科研课题：研制微型芯片生产设备。”

说到这里，他就用精神饱满的目光看了大家一遍，像学校的老师在检查学生是否认真听讲一样。看到大家都专注地望着自己，他的脸上浮现了笑容，于是他接着说道：“这次研发行动，我亲自当总指挥。这套设备很复杂，因此根据我的归划，我们首先就得解决切割问题，国际上通常采用的是线切割和激光切割。

线切割的切割效果最好，它是采用机械的方法，通过钢线高速往复运动，带动磨料进行切割的方法。线不动，单晶硅棒通过台架固定，往上提升。因此可以多线同时切割，一次可以切几百片，效率最高。

还有一种是采用高能激光束切割，由于是非接触式的，因此硅片不易变形，精度高。

你们俩种方法都要试，反正以后在别的方面也有用。这件事情，主要由长胜精工负责，可以要求相关的研究所帮助。

切割完后，还需要打磨，把硅片打磨至我们需要的厚度。并且要打磨至一个近似镜面的效果。大家注意，打磨的时候必须在氩气环境内进行，要防止硅片表面氧化。因此它必须与光刻机集成到一起，共用氩气环境。使硅片不需要暴露在空气中。这个打磨机也由长胜精工研制，电子研究所的相关研究室帮助试验，让他们知道要打磨至什么程度。

打磨好之后就是上胶。由于上胶之个环节也必须在氩气环境内。再加上后续的光刻、蚀刻等等环节都需要集成在这个统一的氩气环境内。那么我们就无法用人工操作了。因此必须设计一条轨道，将这几个环节有机的连接起来。再设计一条或几条机械臂在这条轨道上运行，它们的职责就是将硅晶圆输送到各个环节中。也将在各个环节中完成了工序的硅晶圆拿出来。

我们又来讲上胶这道工序。胶有两种胶，一种是底胶，一种是光刻胶。因此不能由一套上胶机器完成，以免相互沾染。我的想法是，设计两套上胶机器，分布在轨道的两边。

说到这里，我们又要反过来讲硅晶圆。

有一片硅晶圆是上底胶，作为衬底的。

我们现在的工艺技术还无法使用到它，因此我们可以用废品硅晶圆片代替，以节约成本。

不用讲，这两部上胶机，也要长胜精工负责研制，注意！表面要涂得相当的均匀，以免影响效果。

讲到这里，我已经无法再往下讲了。到目前为止，已经有三、四部不同的机器，需要长胜精工负责研制，他们的技术员已经不够用了，我再讲多的，反而会分散他们的注意力。因此今天的会就开到这里，散会。”

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